中图仪器全主动3D概括仪粗糙度外表描摹仪

  根据白光干与原理，以3D非触摸方法，丈量剖析样品外表描摹的要害参数和尺度。它具有丈量精度高、操作快捷、功用完全、丈量参数包含面广的长处，特别光源形式能够广泛适用于从润滑到粗糙等各种精细器材外表的丈量。

  (4)剖析中供给校平、图画修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功用；

  (5)剖析中供给粗糙度剖析、几许概括剖析、结构剖析、频率剖析、功用剖析等五大剖析功用；

  SuperViewW中图仪器全主动3D概括仪粗糙度外表描摹仪对各种精细器材及资料标明上进行亚纳米级丈量，典型成果包含：

  几许特征（要害孔径尺度，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的方位和数量等等）。

  SuperViewW中图仪器全主动3D概括仪粗糙度外表描摹仪对各种产品、部件和资料外表的平面度、粗糙度、波纹度、面形概括、外表缺陷、磨损状况、腐蚀状况、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征做丈量和剖析。

  针对完结样品超润滑凹面弧形扫描所需一起满意的高精度、大扫描规模的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，处理了传统相移法PSI扫描规模小、笔直法VSI精度低的两层缺陷。在主动拼接模块下，只需要确认起点和结尾，即可主动扫描，重建其超润滑的外表区域，不见一丝堆叠缝隙。

  1）选用光学干与技能、精细Z向扫描模块和3D重建算法组成丈量体系，确保丈量精度高；

  2）隔振体系，能够有显着效果地阻隔频率2Hz以上绝大部分振荡，消除地上振荡噪声和空气中声波振荡噪声，保证仪器在大部分的出产车间环境中能安稳运用，取得高丈量重复性；

  具有的环境噪声检测模块能够定量评价出外界环境对仪器扫描轴的轰动搅扰，在设备调试、日常监测、毛病排查中可供给定量的环境噪声数据作为支撑。

  集成X、Y、Z三个方向位移调整功用的操作手柄，可快速完结载物台平移、Z向聚集、找条纹等丈量前作业。

  在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞维护外，另在Z轴上规划有机械电子传感器，当镜头触碰到样品外表时，仪器主动进入紧迫中止状况，最大极限的维护仪器，下降人为操作危险。

  既能够接入客户现场的安稳气源也能够接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可安稳作业。

  中图仪器全主动3D概括仪粗糙度外表描摹仪信息由深圳市中图仪器股份有限公司为您供给，如您想了解更多关于中图仪器全主动3D概括仪粗糙度外表描摹仪报价、类型、参数等信息，中图仪器客服电话：，欢迎来打电话或留言咨询。

  KLA/科磊 Filmetrics® Profilm3D® 光学概括仪

  展会约请 KLA将参与第二十六届中国国际光电博览会（CIOE中国光博会）